रूथेनियम (Ru) स्पटरिंग लक्ष्य

रूथेनियम स्पटरिंग लक्ष्य उच्च शुद्धता वाले रूथेनियम से बना एक ग्रे लक्ष्य है। रूथेनियम एक रासायनिक तत्व है जिसका प्रतीक Ru और परमाणु संख्या 44 है। यह आवर्त सारणी के प्लैटिनम समूह से संबंधित एक दुर्लभ संक्रमण धातु है। प्लैटिनम समूह की अन्य धातुओं की तरह, रूथेनियम अधिकांश अन्य रसायनों के प्रति निष्क्रिय है। रूथेनियम आमतौर पर प्लैटिनम अयस्कों के एक छोटे घटक के रूप में पाया जाता है; अधिकांश रूथेनियम उत्पादों का उपयोग पहनने-प्रतिरोधी विद्युत संपर्कों और मोटी-फिल्म प्रतिरोधकों में किया जाता है।

रूथेनियम स्पटरिंग लक्ष्यों का उपयोग आरयू पतली फिल्म को जमा करने के लिए किया जाता है, जो लंबवत चुंबकीय रिकॉर्डिंग बहु-परत फिल्मों की संरचना में एक महत्वपूर्ण मध्यवर्ती फिल्म है। चुंबकीय रिकॉर्डिंग माध्यम में, यह मुख्य रूप से ऊपरी और निचली परतों के बीच जाली बेमेल तनाव को कम करने, थर्मल स्थिरता बढ़ाने और शोर को कम करने में भूमिका निभाता है।

एक कार्यात्मक फिल्म के रूप में, रूथेनियम और रूथेनियम मिश्र धातु पतली फिल्मों का व्यापक रूप से चुंबकीय रिकॉर्डिंग भंडारण और अर्धचालक उद्योगों में उपयोग किया जाता है।

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