Invar मिश्र धातु: अर्धचालक विनिर्माण में ड्राइविंग नवाचार
चूंकि सेमीकंडक्टर विनिर्माण प्रक्रियाएं महीन नोड्स की ओर बढ़ती रहती हैं, इनवेर मिश्र धातु (जिसे इनवेर के रूप में भी जाना जाता है) चिप निर्माण के क्षेत्र में अभूतपूर्व अभिनव आवेदन मूल्य का प्रदर्शन कर रहा है। अपने अद्वितीय थर्मल स्थिरता और यांत्रिक गुणों के साथ, Invar मिश्र धातु उन्नत अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं का समर्थन करने वाली प्रमुख सामग्रियों में से एक बन रहा है।
वेफर निरीक्षण तकनीक को भी इनवेर मिश्र धातु के आवेदन से लाभ हुआ है। उद्योग-अग्रणी माप उपकरण निर्माताओं ने अल्ट्रा-लो विस्तार इनवेर मिश्र धातु (4J36) के आधार पर निरीक्षण प्लेटफॉर्म विकसित किए हैं, जिनकी थर्मल स्थिरता पारंपरिक सामग्रियों की तुलना में पांच गुना अधिक है। 3 0 0 मिमी वेफर्स के व्यापक निरीक्षण के दौरान, ये प्लेटफ़ॉर्म तापमान में उतार -चढ़ाव के कारण होने वाली माप त्रुटियों को 0.1nm से नीचे कर सकते हैं, जो प्रक्रिया नियंत्रण क्षमताओं को काफी बढ़ाते हैं।
पतली-फिल्म बयान प्रक्रिया में, इनवेर मिश्र धातु ने अद्वितीय लाभ दिखाए हैं। नवीनतम भौतिक वाष्प जमाव (PVD) उपकरण Invar मिश्र धातु वैक्यूम चैम्बर घटकों का उपयोग करता है, जो न केवल बेहतर वैक्यूम सीलिंग प्रदर्शन को प्राप्त करता है, बल्कि इसके उच्च तापमान प्रतिरोध के कारण उपकरण रखरखाव चक्र को 30% तक बढ़ाता है। रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) उपकरण की प्रतिक्रिया कक्ष समर्थन संरचनाएं भी तेजी से इनवेर मिश्र धातु को अपना रही हैं, उच्च तापमान प्रक्रियाओं में थर्मल विरूपण मुद्दों को प्रभावी ढंग से कम कर रही हैं।
उद्योग के विशेषज्ञों का कहना है कि अर्धचालक विनिर्माण के क्षेत्र में इनवेर मिश्र धातु के अभिनव अनुप्रयोग केवल शुरू हुए हैं। जैसे -जैसे अर्धचालक प्रक्रियाएं विकसित होती रहती हैं, असाधारण स्थिरता के साथ यह कार्यात्मक सामग्री अधिक महत्वपूर्ण प्रक्रिया चरणों में एक अपूरणीय भूमिका निभाएगी, जो चिप निर्माण प्रौद्योगिकी की उन्नति के लिए ठोस समर्थन प्रदान करती है।
