मो आयन इम्प्लांटेशन स्पेयर पार्ट्स

आयन प्रत्यारोपण आधुनिक एकीकृत परिपथ निर्माण में एक बहुत ही महत्वपूर्ण तकनीक है, जो अर्धचालक डोपिंग को प्राप्त करने के लिए आयन प्रत्यारोपण मशीन का उपयोग करती है। यह विशिष्ट अशुद्धता तत्वों वाले गैस अणुओं पर बमबारी करने के लिए इलेक्ट्रॉनों को उत्सर्जित करने के लिए कैथोड के रूप में टंगस्टन तार का उपयोग करता है, जिससे आयनित विशिष्ट अशुद्धता परमाणु उत्पन्न होते हैं जो इलेक्ट्रोस्टैटिक क्षेत्र द्वारा त्वरित होते हैं और सिलिकॉन एकल क्रिस्टल वेफर की सतह से टकराते हैं, और फिर चालकता विशेषताओं को बदलने के लिए अर्धचालक में प्रत्यारोपित होते हैं और अंततः एक ट्रांजिस्टर संरचना बनाते हैं।

टंगस्टन मोलिब्डेनम सामग्रियों के स्थिर उच्च तापमान रासायनिक गुणों, छोटे तापीय विरूपण और लंबे समय तक सेवा जीवन के कारण, अर्धचालक उद्योग में आयन प्रत्यारोपण मशीनों के आयन स्रोत घटक और उपभोग्य वस्तुएं ज्यादातर टंगस्टन और मोलिब्डेनम सामग्रियों से बनी होती हैं। इन उपकरणों में इलेक्ट्रॉन कैथोड, उत्सर्जन पैनल, केंद्रीय फिक्सिंग रॉड और आर्क चैंबर में वायर प्लेट्स उत्सर्जित करने के लिए परिरक्षण ट्यूब शामिल हैं। हम सामूहिक रूप से उन्हें आयन प्रत्यारोपण के लिए टंगस्टन भागों और आयन प्रत्यारोपण के लिए मोलिब्डेनम भागों के रूप में संदर्भित करते हैं।

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